MEMS技术让压力传感器实现更为先进的压力感测功能

在一个不断发展变化的技术环境下，有越来越多的领域，在其中采用传统的压力感测系统已经不能够提供必要的、完全有效的性能，因此产业中有很大的动力去寻找合适的替代技术。那么，为何说微机电系统实施方案是解决下一代压力监测问题的最佳方法。在过去的几年里，MEMS技术在广泛的领域得到越来越多应用，压力感测是目前采用MEMS技术的一个更常见的领域。国际行业分析公司预测，目前全球MEMS压力传感器市场已经达到数十亿，从现在到2018年间仍将继续快速发展，其间的复合年增长率为8.6％。

MEMS传感器是基于以下的工作原理，即在有压力存在时，将会导致一个非常敏感的微机械加工的硅膜结构体产生形变。此结构体发生形变的程度直接与流经植入电阻网络的电信号相关，由此可以精确测量作用于传感器上的压力。由于硅材料特殊的弹性性能，膜片的形变是临时性的并且可逆。

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